이 글의 목적은 업계에서 통용되는 ‘SEMI 인증’의 정확한 의미와 범위, 핵심 규격(특히 SEMI S2) 요구사항, 평가 절차, 준비 방법, 빈번한 부적합 사례를 체계적으로 정리하여 반도체 장비·부품 공급사가 실제 심사에 바로 대비할 수 있도록 돕는 것이다.
1. ‘SEMI 인증’의 정확한 의미
업계에서 흔히 말하는 ‘SEMI 인증’은 국제 산업단체인 SEMI가 직접 발행하는 공식 인증서가 아니라, 제3자 시험·인증기관이 SEMI 규격 요구사항에 대한 적합성을 평가하고 보고서를 발행하는 절차를 지칭하는 관용 표현이다.
가장 널리 요구되는 규격은 SEMI S2(Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment)이며, 인체공학, 위험도 평가, 전기·가스·화학 안전, 화재·폭발 예방, 배기·배출 등 종합 EHS 요구사항을 다룬다. 고객사나 팹의 요구에 따라 SEMI S8(인체공학), S10(위험평가), S14(오류 대비), S22(전기안전), S26(가연성 가스), F47(전압 강하 내성) 등 추가 규격을 조합하여 평가 범위를 확장한다.
2. 왜 필요한가: 고객 요구와 수출·수주 조건
- 대형 팹의 장비 승인 절차에서 SEMI S2 적합성 보고서가 사실상 필수 전제 조건으로 요구되는 경우가 많다.
- 해외 출시에 앞서 안전·환경 리스크를 체계적으로 제거하여 설치 승인과 램프업 시간을 단축할 수 있다.
- 내부 설계 표준화와 부품 공용화, 위험성 평가 체계를 고도화하는 계기가 된다.
3. SEMI 규격 체계 한눈에 보기
| 구분 | 핵심 내용 | 적용 대상 | 주요 점검 항목 |
|---|---|---|---|
| S2 | EHS 종합 가이드라인 | 반도체 제조장비 전반 | 전기·화재·가스·화학·기계적 위험, 비상정지, 배기, 라벨, 매뉴얼 |
| S8 | 인체공학 | 운전·정비 인터페이스 | 리치·힘·가시성·자세·반복작업·휴먼에러 저감 |
| S10 | 위험성 평가 방법론 | 시스템·서브시스템 | 위험 식별, 심각도·가능도 평가, 저감 대책 검증 |
| S14 | 실수 허용 설계 | 사용자 인터페이스 | 오조작 방지, 페일세이프, 인터록 |
| S22 | 전기 안전 | 패널·배선·접지 | 차단·락아웃, 누전, 크리어런스·크리페이지 |
| S26 | 가연성 가스 | 공정가스 사용 장비 | 검지·차단·배기·퍼지·화염역류 방지 |
| F47 | 전압 강하 내성 | 전원 민감 장비 | Sag 프로파일 시험, 기능 유지 |
4. 평가 주체와 산출물
- 평가 주체: 공인 시험기관 또는 반도체 고객사가 수용하는 제3자 평가기관이 수행한다.
- 산출물: 적합성 보고서(Conformance Report), 부적합 목록(NCR), 시정조치 검증서, 필요 시 ‘SEMI S2 준수’ 의견서가 발행된다.
- 중요 사실: 보고서의 표지는 시험기관 명의이며 SEMI 로고의 공식 인증 마크가 포함되지 않는다.
5. SEMI S2 평가 범위 핵심
- 전기 안전: 차단기 정격, 접지, 인터록, 패널 접근성, 에너지 격리 절차를 확인한다.
- 화재·폭발: 가연성 물질 관리, 재료 난연성, 감지·소화, 배선 난연 등급을 평가한다.
- 가스 안전: 독성·가연성 가스 사용 시 검지기 설정, 이중 차단·배출, 퍼지 시퀀스를 점검한다.
- 화학물질: 산·염기·산화제 취급, 탱크 이차보유, 누출 검지, 배기 후드 성능을 확인한다.
- 기계적 위험: 핀치 포인트, 회전체 보호, 리프트 포인트, 유지보수 접근을 검토한다.
- EMO·LOTO: 비상정지 버튼 접근성, 이중 채널, 시인성, 에너지 고립 절차를 확인한다.
- 인체공학: 패널 높이, 리치, 시야, 힘 요구, 매뉴얼 작업 위험을 평가한다.
- 배기·배출: 공정·퍼지·누출 배기를 분리하고 면풍속, 덕트 재질, 모니터링을 검증한다.
- 표시·라벨·문서: 경고 라벨, 표준 기호, 설치·운전·정비 매뉴얼의 적정성을 확인한다.
6. 표준 평가 절차(프로세스 맵)
- 킥오프 회의: 장비 구성, 모델·옵션, 공정 가스·화학물질 목록, 전원·배기 사양을 확정한다.
- 문서 검토: 도면, 전기회로도, FMEA·위험성평가, 매뉴얼, 인터록 매트릭스를 사전 심의한다.
- 현장 평가: 설치 상태, 시운전, 비상정지, 가스·화학 누출 시나리오, 배기 성능을 시험한다.
- NCR 발행: 부적합 사항과 개선 권고를 등급화하여 통보한다.
- 시정조치 이행: 설계 변경, 부품 교체, 로직 수정, 표지 추가를 수행한다.
- 재검증·종결: 증빙 제출과 부분 재시험을 거쳐 적합성을 종결한다.
7. 준비 자료 체크리스트
| 분류 | 필수 자료 | 포인트 |
|---|---|---|
| 도면·사양 | BOM, GA, P&ID, 전기회로도, 덕트·배관 사양 | 정격·재질·압력·온도 범위 명시 |
| 위험평가 | FMEA/FTA, S10 방법론 결과 | 잔여위험과 저감 대책 근거화 |
| 시험성적 | 가스검지기, 누전차단기, EMO, 배기 성능 | 교정 이력과 셋팅값 일치 |
| 운영문서 | 설치·운전·정비 매뉴얼, LOTO 절차 | 팹 표준 포맷과 용어 부합 |
| 표시·라벨 | 경고표지, 회로 라벨, 유체 흐름 표시 | 언어·색상·내열·내약품성 확인 |
8. 하드웨어·소프트웨어 요구사항 요약
- 전기 패널: IP 등급, 접지 바, 차단기 라벨, 인터록 바이패스 관리가 필요하다.
- 가스·케미컬: 이중 차단 밸브, 퍼지 라인, 누출 검지기 위치·알람 연동이 필요하다.
- 배기 시스템: 국소배기, 퍼지 배기 분리, 면풍속 기준 충족이 필요하다.
- EMO/ESD: 비상정지 다점 배치, 플런저 타입, 이중 채널 설계가 필요하다.
- 소프트웨어: 인터록 조건표, 오류코드 트리, 이벤트 로그 보존이 필요하다.
9. 빈번한 부적합 사례와 수정 팁
- EMO 접근성 불량: 가드·랙에 가려짐이 발생하므로 위치와 높이를 재설계한다.
- 배기 덕트 혼재: 퍼지·프로세스·캐비닛 배기를 단일 라인으로 묶어 알람 지연이 발생하므로 분리한다.
- 가스 검지기 셋팅 불일치: 교정 기체 농도와 알람 세팅이 문서와 상이하므로 교정서·SOP를 일치시킨다.
- 라벨 누락·내구성 부족: 고온부·약품 노출부 라벨이 탈락하므로 내열·내약품 라벨을 사용한다.
- LOTO 절차 미흡: 에너지 격리 포인트 표준화가 부족하므로 태그·잠금장치 목록을 도면에 반영한다.
10. 인체공학(S8) 통과 전략
- 정비 포트의 작업 자세를 중립자세로 설계한다.
- 반복 힘 요구 작업에는 보조 지그·리프트를 도입한다.
- HMI 레이아웃은 시선 이동 최소화와 오류 방지 색채 규정을 따른다.
11. 위험평가(S10) 문서화 포맷
위험 ID, 원인, 결과, 기존 보호대책, 심각도·빈도·탐지 지표, 잔여위험, 추가 조치를 표 형식으로 정리한다. 고위험 항목은 설계 변경과 인터록 검증 시험으로 닫는다.
12. 전기안전(S22) 핵심 체크
- 접지 저항과 본딩 루프를 계측하고 보고서에 수치로 남긴다.
- 도전부 노출을 방지하고 패널 도어 인터록을 검증한다.
- 크리어런스·크리페이지를 정격에 맞춰 설계하고 절연 재료 등급을 명기한다.
13. 가연성 가스(S26) 안전 설계
- 가스 캐비닛·배관 내 이중 차단·배출을 구현한다.
- 가스 검지기 위치를 누출 가능 지점과 공기 흐름을 고려해 배치한다.
- 배기 상실, 검지 알람, 압력 이상 시 자동 차단 인터록을 설계한다.
14. F47 전압 강하 대응
- 전원 유닛·제어기·진공 펌프 등 핵심 부하에 대해 Sag 프로파일 시험을 실시한다.
- 필요 시 라이드스루 UPS 또는 DC 링크 용량을 보강한다.
15. 일정·비용 계획 수립 팁
- 문서 준비 3~6주, 현장 평가 1~3일, 시정조치 2~8주를 기준으로 거칠게 산정한다.
- 모델·옵션 수가 많을수록 시정조치 범위가 증가하므로 공용 설계를 지향한다.
16. 셀프 프리어세스(사전 점검표)
| 항목 | 점검 방법 | 상태 |
|---|---|---|
| EMO 접근성 | 1 m 이내, 가시성, 장애물 없음 | 적합/부적합 |
| 가스 누출 대응 | 검지기 위치·알람 연동 테스트 | 적합/부적합 |
| 배기 분리 | 퍼지·프로세스·캐비닛 분리 확인 | 적합/부적합 |
| LOTO | 격리 포인트 라벨·절차 확인 | 적합/부적합 |
| 문서 일치 | 도면·SOP·셋팅값 상호 일치 | 적합/부적합 |
17. 설치 현장 시험 베스트 프랙티스
- 실물 사이클로 인터록, 알람, 차단 동작을 재현 시험한다.
- 배기 면풍속은 온도·공정 조건을 변화시켜 최저값을 확인한다.
- 검지기 교정은 인증가스 농도와 동일한 표준가스를 사용한다.
18. 보고서 대응 전략
- NCR 등급화: 안전 직결 항목을 최우선으로 수정한다.
- 근본원인 분석: 공정·설계·문서 간 불일치를 제거한다.
- 증빙 패키지: 사진, 테스트 로그, 개정 도면, SOP 개정본을 일괄 제출한다.
19. 공급망·부품 변경 관리
- 안전 기능 부품은 동등성 평가와 재시험 기준을 문서화한다.
- 펌웨어·PLC 로직 변경은 형상관리와 추적성을 유지한다.
20. 교육·역량 및 유지관리
- 운전·정비 교육은 위험 시나리오 기반으로 실시한다.
- 연간 내부 갭 분석으로 규격 개정 사항을 반영한다.
- 현장 이탈 사항은 변경관리와 재평가 절차로 회수한다.
21. 고객 커스터마이즈 대응
팹별로 라벨 언어, 색상 코드, 알람 우선순위, 배기 연동 로직, LOTO 폼이 상이할 수 있다. 초기 단계에서 고객 표준을 수집하여 설계에 전면 반영한다.
22. 샘플 선언문
“본 장비는 SEMI S2를 기준으로 전기·가스·화학·기계적 위험을 평가하였으며, 고객 요구에 따라 S8·S22·S26·F47 추가 항목을 검증하였다. 비상정지, 인터록, 배기, 검지·차단 기능은 시나리오 시험을 통해 검증되었으며, 모든 잔여 위험은 매뉴얼과 LOTO 절차에 반영하였다.”
FAQ
SEMI가 직접 인증서를 발행하나?
그렇지 않다. 제3자 시험기관이 SEMI 규격 적합성 보고서를 발행한다.
SEMI S2만 통과하면 충분한가?
장비와 고객 요구에 따라 S8, S10, S14, S22, S26, F47 등이 추가될 수 있다.
평균 소요 기간은 어느 정도인가?
문서 준비 수주, 현장 평가 수일, 시정조치 수주가 일반적이나 장비 복잡도에 따라 달라진다.
국내·해외 동일 기준으로 통용되는가?
SEMI 규격은 국제적으로 통용되나 팹 내부 표준이 추가될 수 있다.
부품 변경 시 재평가가 필요한가?
안전 기능 부품과 인터록 관련 변경은 재평가와 증빙이 필요하다.